半导体制程验证中Chiller的日常保养

在半导体制程验证环节，Chiller作为温度控制的设备，其运行稳定性直接影响制程精度与产品良率。科学规范的日常保养，不仅能延长设备寿命，更能确保温控系统在半导体材料测试、芯片制造等场景中持续作业。

一、循环系统的维护：保障介质纯净与系统密闭

半导体制程验证中Chiller多采用全密闭设计，防止低温环境下空气水分混入。日常保养需定期检查系统密封性，通过氮气检测等方式排查潜在泄漏点，避免导热介质污染或损耗。对于循环介质，需根据使用频率与工况定期更换，确保其导热性能稳定。同时，检查磁力驱动泵的运行状态，观察泵体振动，及时清理泵体杂质，避免堵塞影响循环压力与流量。

二、换热器的清洁与维护：提升换热效率

半导体制程验证中Chiller的冷凝器与蒸发器是热量交换的核心部件。风冷式冷凝器需定期清理翅片表面灰尘、杂物，避免积尘影响散热效率；水冷式冷凝器则要监测冷却水水质，防止水垢沉积，定期进行水路清洗。蒸发器作为制冷关键部件，需检查其表面结垢情况，尤其是板式换热器，确保流道通畅。

三、电气系统检查：确保控制与运行安全

日常保养需关注Chiller的电气系统。首先，检查线路连接是否稳固，避免因振动导致接线松动，影响设备运行。其次，对PLC可编程控制器、操作界面进行功能校验，测试温度显示、参数设置、数据记录导出等功能是否正常。通信模块需定期验证通信稳定性，确保远程控制与数据传输无异常。

四、长期停用保养：维持设备待用状态

若Chiller长期停用，需进行专项保养。排空循环系统内的导热介质，清洁内部管路，防止介质残留腐蚀部件。断开电源，对设备进行防尘覆盖，定期通电预热，维持电气元件性能。对于水冷式设备，需排净水路余水，避免低温冻裂管道。

在半导体制程验证中，Chiller的日常保养是一项系统性工作，涵盖机械、电气、制冷等多方面。通过规范的维护流程，可确保Chiller始终处于合适的运行状态，为半导体工艺开发、产品验证提供稳定可靠的温度控制环境。