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超纯水温控系列

超纯水温控系列

应用:

Chiller是由紧密耦合的制冷循环与介质循环两大核心系统构成,通过两个循环通道间的介质高效换热,实现对目标设备的精准、稳定温度控制。

原理:制冷剂在系统中循环,通过压缩、冷凝、节流和蒸发四个过程实现制冷;同时,载冷剂(介质)在独立的循环管路中流动,通过板换换热器将冷量持续输送给目标设备,并循环使用。

核心技术与优势:

1、洁净度高:内置过滤器能有效防止水垢生成,从源头降低游离离子污染,保护冷却系统核心部件,显著提升运行效率;同时降低冷却水电导率,防止电流泄漏,避免对精密电子元件或加工过程造成电化学干扰。

2、控温精准:采用智能算法,实现系统动态温度快速响应、控制精度±0.1℃(可选配±0.01℃),具有良好的温度跟随性。

3、节约能耗:采用压缩机、泵变频自适应调节、软启动和余热回收技术,实现系统的节能。

4、适用场景:该chiller可替代氟利昂清洗,广泛适用于半导体晶圆、光伏电池、液晶面板及锂电池生产中的温纯水精密清洗

 

CHILLER超纯水温控系列

型号FLTZ-U-003WFLTZ-U-D001WFLTZ-U-D002WFLTZ-U-D003W
通道类型1-loop independent2-loop independent2-loop independent2-loop independent
性能参数通道型号CH1CH1CH2CH1CH2CH1CH2
循环方式冲洗型循环型循环型循环型冲洗型循环型冲洗型
温度范围15~40℃15~40℃15~40℃15~40℃15~40℃15~40℃15~40℃
温度控制精度±0.1℃±0.1℃±0.1℃±0.1℃±0.1℃±0.1℃±0.1℃
冷却能力9.4kW@20℃0.6kW@20℃0.6kW@20℃1.5kW@20℃6.3kW@20℃3kW@20℃6.2kW@20℃
加热能力10kW0.6kW2kW1.5kW12.5kW3kW12.5kW
循环液类型/电阻率DI WATER@10~18MΩ·cmDI WATER@10~18MΩ·cmDI WATER@10~18MΩ·cmDI WATER@10~18MΩ·cm
循环液流量压力45LPM@0.4MPa6LPM@0.45MPa10LPM@0.43MPa15LPM@0.45MPa25LPM@0.43MPa18LPM@0.45MPa30LPM@0.43MPa
循环液接口Rc3/4Rc3/8Rc3/8Rc1/2Rc1/2Rc1/2Rc3/4
PCW温度18~22℃18~22℃18~22℃18~22℃18~22℃18~22℃18~22℃
PCW流量2m³/h1.3m³/h1.3m³/h2m³/h2m³/h3.8m³/h3.8m³/h
PCW压力2~6bar2~6bar2~6bar2~6bar2~6bar2~6bar2~6bar
PCW接口Rc3/4Rc1/2Rc1/2Rc1/2Rc1/2Rc3/4Rc3/4
安全装置过载保护功能压缩机、循环泵、加热器等热过载保护。
电源保护功能电源过电流、过欠压、缺相等保护
液位保护低流量、低液位等保护
安全联锁装置EMO+INTERLOCK
上锁挂牌装置LOTO装置
漏液检测装置设备内外部LEAK SENSON
通讯类型支持多种通讯协议支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境环境温度10~40℃
环境湿度30~70%RH
电源220VAC±10%,三相(可定制)
外形尺寸cm45*90*15043*90*15045*120*15065*115*170

 

1.额定测试条件:⼲球温度:20℃;湿球温度:16℃。

2.此表数据仅供选型参考,如样册有更新恕不另行通知,请以机组铭牌参数为主。

3.如需特殊⾮标品定制,请与我司联系。联系电话:139-1247-9193

4.水冷设备需要闭式冷却塔或冷水机供水,如采用开式冷却塔,必须增加过滤器。供水压力1.5bar~4bar


 

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