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三通道系列 Triple Channel Chiller

三通道系列 Triple Channel Chiller

产品介绍

FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,系统支持三个通道独立控温,每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等。

公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),实现系统快速响应、较高的控制精度,加载情况下控温精度可达±0.1C,可在-20℃~+100℃之间任意切换,具有良好的温度跟随性。

三通道系列 Triple Channel Chiller-冠亚恒温 三通道系列 Triple Channel Chiller-冠亚恒温 三通道系列 Triple Channel Chiller-冠亚恒温 三通道系列 Triple Channel Chiller-冠亚恒温 三通道系列 Triple Channel Chiller-冠亚恒温

 

 

型号FLTZ-203W/ETCU-008W
管道通道1通道2通道3
温度范围-10℃~+60℃+30℃~+80℃-10℃~+80℃
温度稳定度±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
冷却能力4kW@-10℃/21kW@+20℃6 kW@+30℃3kW@-10℃
加热能力4kW4.5+6kW3kW
流量/压力 MAX17L/min 0.7MPa17L/min 0.7MPa17L/min 0.7MPa
导热介质接口ZG3/4ZG3/4ZG3/4
环境温度10~35 ℃10~35 ℃10~35 ℃
环境湿度30~70%30~70%30~70%
冷却水温度15~20℃15~20℃15~20℃
冷却水流量30L/min@15~20℃15L/min@15~20℃15L/min@15~20℃
断路器100A
⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度
重量600kg
外形尺寸 cm60*100*170

 

型号FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
管道通道1通道2通道3
温度范围-20℃~+50℃+30℃~+100℃+30℃~+40℃
温度稳定度±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)
冷却能力15kW@-10℃13kW@PCW+15℃8kW@PCW+10℃
加热能力2kW6kWPump Heat Loss
流量/压力 MAX30L/min 0.85MPa30L/min 0.85MPa20L/min 0.8MPa
导热介质接口ZG3/4ZG3/4ZG3/4
环境温度10~35 ℃10~35 ℃10~35 ℃
环境湿度30~70%30~70%30~70%
冷却水温度15~20℃15~20℃15~20℃
冷却水流量30L/min@15~20℃15L/min@15~20℃15L/min@15~20℃
断路器75A
⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度(动态控温)
重量600kg
外形尺寸 cm60*100*170

 

 

 

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