热电型chiller TEC系列（帕尔贴Chiller）-冠亚恒温

产品介绍

冠亚恒温LNEYA 帕尔贴热电制冷器Chiller温度范围从-20℃~90℃，专为半导体行业度身定制；

基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理，帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制；

对于静电卡盘(ESC)动态的温度控制，使得其能够应用于所有类型的刻蚀工艺；

快速和精确的温度控制，能够满足任何严苛的工艺要求；

LNEYA 帕尔贴热电的CHILLER有五款款型号可选，为晶圆蚀刻工艺提供可靠和精确的温度控制

功能和优势

·高可靠性和低使用成本

·工业空间占用率小

·极低的导热液填充量

·低能耗，没有压缩机和制冷剂的系统，同时只有在有负载时输出，大幅度降低能耗

制热、直冷时，冷热部件没有与导热液直接接触

·动态控温，精准控制过程温度，快速温度响应

·温度漂移保护功能使得刻蚀的轮廓更加稳定

·改善Wafer-Wafer的稳定性

·模块化部件使得维修更加方便

·使用全氟液体