无压缩机换热型系列ETCU Chiller

产品介绍

原理：CHILLER 是通过换热器，将厂务水与载冷介质进行换热，循环泵驱动载冷介质循环，并且同时实现精准控温功能，适用于光刻机、薄膜沉积设备、离子注入机等领域加热冷却

核心技术与优势：

1.加热冷却一体化设备：设备结构简单，应用换热器即可实现连续升降温，5-90℃温度范围快速加热冷却。

2.精准控温：采用PID算法或PLC控制，实现温度波动≤±0.05℃，适用于精密制造场景。

3.多场景适配：支持纯水、乙二醇、导热油等不同介质使用。