LTS-80℃~80℃

广泛运用在半导体制程中对反应腔室控温、热沉板控温及需要传热介质不可燃流体控温场所。

• 1、介质循环系统保压测试7bar。
  2、采用高品质磁力泵，没有机械轴封。
  3、优化温度采样及响应速度，专门设计控制算法，能快速响应到控温稳定。
  4、增强循环泵能力设计，满足系统高扬程需求。
  5、持续高温降温技术，满足在热沉板加载热量，需要冷热恒温控制时稳定运行。
  6、针对氟化液易挥发特点，加强了接头设计、系统密封设计，确保介质使用寿命。

  型号	LTS-802	LTS-803	LTS-804	LTS-806	LTS-808
  	LTS-802W	LTS-803W	LTS-804W	LTS-806W	LTS-808W
  温度范围	-80℃～80℃
  控温精度	±0.1℃  -80℃～-50℃
  流量控制	7～25L/min		12～45L/min
  	流量控制采用变频器调节，循环泵最大压力5bar
  内循环液容积	4L	5L	6L	8L	10L
  膨胀罐容积	10L	10L	15L	15L	20L
  系统压力显示	制冷系统压力、循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上
  控制器	PLC控制器，模糊PID控制算法，具备串级控制算法
  温度控制	导热介质出口温度控制模式
  	外接温度传感器：（PT100或4～20mA或通信给定）控制模式（串级控制）
  通信协议	以太网接口TCP/IP协议
  	RS485接口 modbus RTU协议
  设备内部温度反馈	设备导热介质出口温度、介质进口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度（水冷设备有）
  密闭循环系统	整个系统为全密闭系统，低温不吸收空气中水份，不挥发导热介质，低温自动补充导热介质进入循环系统
  压缩机	艾默生谷轮/丹佛斯涡旋柔性压缩机
  循环泵	磁力循环泵
  蒸发器	板式换热器
  冷凝器	铜管铝翅片冷凝器
  	板式换热器（水冷），特别注意：需要使用清洁厂务水
  制冷附件	丹佛斯/艾默生配件（干燥过滤器、油分离器）
  操作面板	无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示\EXCEL 数据导出
  安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、冷冻机过载保护；高压压力开关，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
  外壳材质	冷轧板喷塑 （标准颜色7035）

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