产品介绍 广泛运用在半导体制程中对反应腔室控温、热沉板控温及需要传热介质不可燃流体控温场所。1、介质循环系统保压测试7bar。 2、采用高品质磁力泵,没有机械轴封。 3、优化温度采样及响应速度,专门设计控制算法,能快速响应到控温稳定。 4、增强循环泵能力设计,满足系统高扬程需求。 5、持续高温降温技术,满足在热沉板加载热量,需要冷热恒温控制时稳定运行。 6、针对氟化液易挥发特点,加强了接头设计、系统密封设计,确保介质使用寿命。型号LTS-402LTS-403LTS-404LTS-406LTS-408LTS-402WLTS-403WLTS-404WLTS-406WLTS-408W温度范围 -40℃~80℃控温精度±0.1℃ -40℃~-10℃流量控制7~25L/min12~45L/min流量控制采用变频器调节,循环泵最大压力5bar内循环液容积4L5L6L8L10L膨胀罐容积10L10L15L15L20L系统压力显示制冷系统压力、循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上控制器PLC控制器,模糊PID控制算法,具备串级控制算法温度控制导热介质出口温度控制模式外接温度传感器:(PT100或4~20mA或通信给定)控制模式(串级控制)通信协议以太网接口TCP/IP协议RS485接口 modbus RTU协议设备内部温度反馈设备导热介质出口温度、介质进口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有)密闭循环系统整个系统为全密闭系统,低温不吸收空气中水份,不挥发导热介质,低温自动补充导热介质进入循环系统压缩机艾默生谷轮/丹佛斯涡旋柔性压缩机循环泵磁力循环泵蒸发器板式换热器冷凝器铜管铝翅片冷凝器板式换热器(水冷),特别注意:需要使用清洁厂务水制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器)操作面板无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示\EXCEL 数据导出安全防护具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。外壳材质冷轧板喷塑 (标准颜色7035) 上一篇: LTS-20℃~80℃ 下一篇: LTS-60℃~80℃